Wachstum und Charakterisierung von ITO-Dünnschichten durch Magnetronsputtern [German]

by cal Tuna and Öcal Tuna

In dieser Studie wurden d?nne Indium-Zinn-Oxid (ITO)-Filme sowohl mit DC- als auch mit RF-Magnetron-Sputtertechniken aufgewachsen. Um die Abscheidungsrate von ITO zu kennen, wurde das System sowohl f?r DCMS als auch f?r RFMS kalibriert. Anschlie end wurde ITO auf einem Glassubstrat mit einer Dicke von 70 nm und 40 nm unter ?nderung der Substrattemperatur gez?chtet. Der Einfluss der Substrattemperatur, der Schichtdicke und der Sputtermethode auf die...

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 6203340154
• ISBN13: 9786203340150
• Release Date: October 2021
• Publisher: Verlag Unser Wissen
• Length: 96 Pages
• Weight: 0.33 lbs.
• Dimensions: 0.2" x 6.0" x 9.0"