Traitement Plasma de Materiaux Organosilicies En Microelectronique [French]

by David Eon

L'objet de cette tude est la gravure par plasma de mat riaux hybrides SiOC(H). Leurs propri t s ajustables entre organiques et inorganiques leurs donnent de grandes potentialit s. Ce travail est d di deux applications en micro lectronique. 1)L' tude s'est port e sur des polym res base de Polyhedral oligomeric silsesquioxane appliqu e la lithographie optique. Les analyses ont t particuli rement pouss es au moyens de mesures XPS et d'ellipsom...

• Format: Paperback
• Language: French
• ISBN: 6131537747
• ISBN13: 9786131537745
• Release Date: October 2010
• Publisher: Omniscriptum
• Length: 264 Pages
• Weight: 0.86 lbs.
• Dimensions: 0.6" x 6.0" x 9.0"