Inhaltsangabe: Einleitung: Die Plasmapolymerisation ist ein Verfahren zur Produktion von d nnen Polymerschichten bis zu 105 nm Dicke. Bei dem Plasmapolymerisationsprozess wird durch das Einwirken eines Plasmas auf gasf rmige, organische Molek le eine Polymerbeschichtung erzeugt. Die so gebildeten Polymerschichten weisen eine komplexe und hochvernetzte Struktur auf. In den letzten 20 Jahren hat die Plasmapolymerisation einen gro en Aufschwung erfahren...