Polysilizium-Heaterstrukturen f�r den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverl�ssigkeitstests auf Waferebene

By David Weinberger

Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage f r hochbeschleunigte Zuverl ssigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einf hrung in die Zuverl ssigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverl ssigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufw ndig und verlangen daher nach einer alternativen W rmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die W rmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die m gliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 3656276706
• ISBN13: 9783656276708
• Release Date: September 2012
• Publisher: Grin Verlag
• Length: 78 Pages
• Weight: 0.25 lbs.
• Dimensions: 0.2" x 5.8" x 8.3"