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Paperback Papel do recozimento na engenharia de interface em dispositivos Ge MOS [Portuguese] Book

ISBN: 620643382X

ISBN13: 9786206433828

Papel do recozimento na engenharia de interface em dispositivos Ge MOS [Portuguese]

Os diel ctricos de elevada permissividade e os substratos adequados est o a ser intensamente estudados tendo em vista a sua utiliza o na conce o de VLSI. No entanto, o xido de h fnio (HfO2) um candidato promissor para a pr xima gera o de diel ctricos de porta, devido sua constante diel ctrica relativamente elevada 25, ao seu grande intervalo de banda, sua boa estabilidade t rmica e sua energia livre de rea o relativamente elevada com...

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