Os diel ctricos de elevada permissividade e os substratos adequados est o a ser intensamente estudados tendo em vista a sua utiliza o na conce o de VLSI. No entanto, o xido de h fnio (HfO2) um candidato promissor para a pr xima gera o de diel ctricos de porta, devido sua constante diel ctrica relativamente elevada 25, ao seu grande intervalo de banda, sua boa estabilidade t rmica e sua energia livre de rea o relativamente elevada com...