Mit dem Titel meines Beitrages ist schon der interdisziplinare Charakter des Forschungsgehietes angedeutet, uher das ich heute herichten mochte. Die inter- disziplinare Bedeutung der OherfHichenforschung solI deshalh einen wesentlichen Akzent fUr die Darstellung setzen. Ich hatte nehen Physik und Chemie auch hin- zusetzen konnen "Die Festkorperoherflache im Bereich der Materialwissenschaf- ten, der Halhleitertechnologie, der Verfahrenstechnik, der...