Le Transistor CMOS: La Course Vers Le Nanomonde... [French]

by D Blavette, D Mangelinck, O Cojocaru-Miredin, et al.

Ce travail de these est constitue de deux grandes parties. Dans la premiere partie, nous avons etudie la redistribution du B dans le Si(001), a l'ambiante et apres recuit thermique, a l'aide principalement de la sonde atomique tomographique. Pour cette etude, le Si a ete fortement dope en B. La concentration en B dans le Si peut alors depasser la limite de solubilite. On est donc dans le cas d'un systeme sursature. Dans ce cas, nous avons observe...

• Format: Paperback
• Language: French
• ISBN: 6131548056
• ISBN13: 9786131548055
• Release Date: November 2010
• Publisher: Omniscriptum
• Length: 280 Pages
• Weight: 0.91 lbs.
• Dimensions: 0.6" x 6.0" x 9.0"