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Paperback Kraftwaage und Fehlerunterdrückung eines vibrierenden Silizium-Mikrogyroskops [German] Book

ISBN: 6208326648

ISBN13: 9786208326647

Kraftwaage und Fehlerunterdrückung eines vibrierenden Silizium-Mikrogyroskops [German]

Der Mikro-Schwingkreisel ist ein zweidimensionaler, achsensymmetrischer Kreisel mit fester Fluktuation, der sich aus einem dreidimensionalen halbkugelf rmigen Resonanzkreisel entwickelt hat. Unter der Pr misse, die Eigenschaften des halbkugelf rmigen Resonanzkreisels zu bernehmen, wie hohe Genauigkeit, hohe Zuverl ssigkeit, lange Lebensdauer und berlastungsfestigkeit, ist es mit der gegenw rtigen Mainstream-MEMS-Verarbeitungstechnologie kompatibel...

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Format: Paperback

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