Der Mikro-Schwingkreisel ist ein zweidimensionaler, achsensymmetrischer Kreisel mit fester Fluktuation, der sich aus einem dreidimensionalen halbkugelf rmigen Resonanzkreisel entwickelt hat. Unter der Pr misse, die Eigenschaften des halbkugelf rmigen Resonanzkreisels zu bernehmen, wie hohe Genauigkeit, hohe Zuverl ssigkeit, lange Lebensdauer und berlastungsfestigkeit, ist es mit der gegenw rtigen Mainstream-MEMS-Verarbeitungstechnologie kompatibel...