Etude Du Problème Inverse En Scatterométrie [French]

by Quintanilha-R and Richard Quintanilha

La scatterometrie est une methode de mesure non destructive basee sur la mesure et l'interpretation des phenomenes de diffraction des structures periodiques. Le traitement des donnees et l'extraction des parametres geometriques des structures etudiees constituent le probleme inverse a resoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des donnees experimentales sous certaines hypotheses statistiques. L'ensemble...

• Format: Paperback
• Language: French
• ISBN: 6131527296
• ISBN13: 9786131527296
• Release Date: August 2010
• Publisher: Omniscriptum
• Length: 272 Pages
• Weight: 0.89 lbs.
• Dimensions: 0.6" x 6.0" x 9.0"