Unter Epitaxie versteht man das orientierte Aufwachsen d nner Schichten auf einer kristallinen Unterlage. Im Idealfall erreicht man einkristalline Schichten, welche die Kristallorientierung der Unterlage fortsetzen. Bei der Aufdampf- methode mu man in der Regel erh hte Temperaturen der Unterlage w hrend des Aufdampfprozesses anwenden, um Epitaxie zu erreichen. In vielen F llen spielen auch Adsorptionsschichten auf den kristallinen Unterlagen eine...