Entwicklung eines Verfahrens zur konfokalen Mikrotopographievermessung mit Strukturprojektion [German]

by Georg Wiora

Inhaltsangabe: Problemstellung: Es wurde ein Algorithmus entwickelt, der die Auswertung von mikroskopischen Fokusserien, bez glich der Oberfl chenform des Objektes, mit einem Regressionsverfahren bei minimalem Speicherbedarf und sehr hoher Aufl sung erm glicht. Verschiedene strukturierte Raster wurden auf ihre Tauglichkeit zur mikroskopischen Projektion zwecks Kontrasterh hung untersucht. Mehrere Kontrastoperatoren wurden bez glich ihrer Eignung f r dieses Verfahren gepr ft und schlie lich ein kombinierter Operator entworfen, der sich im praktischen Einsatz bew hrt hat. Weiterhin wurde eine Methode entwickelt, um die axiale Aufl sung zu bestimmen. Anhand dieses Parameters wurde das System optimiert. Schlie lich wurden die Ursachen verschiedener systematischer Me fehler analysiert und M glichkeiten zu ihrer Beseitigung entwickelt bzw. aufgezeigt. Inhaltsverzeichnis: Inhaltsverzeichnis: 1.Einleitung1 1.1Motivation1 1.2Geschichte1 1.3Stand der Technik2 1.3.1Laserprofilometer2 1.3.2Streifenprojektion3 1.3.3Stereoskopie3 1.3.4Laser-Scanning-Mikroskop3 1.3.5Rastersondenmikroskop3 1.3.6Konfokale Verfahren4 2.Systembeschreibung5 2.1Aufbau5 2.2Me methode5 2.3Strukturbeleuchtung7 2.3.1Streuscheibe9 2.3.2Diafilm-Raster9 2.3.3Chrommasken9 2.3.4Auswahl des besten Rasters10 2.4Algorithmus10 2.4.1Scharfbild-, Kontrast-, und Momentenberechnung12 2.4.2Regression13 2.4.3Speicherbedarf13 2.4.4Laufzeit14 3.Kontrastoperatoren15 3.1Lokale Kontrastoperatoren15 3.1.1Laplace-Operator15 3.1.2AND Operator17 3.1.3Sobel Operator19 3.1.4Convsobel Operator19 3.2Globale Kontrastoperatoren22 3.2.1Aufteilung der Raumfrequenzen22 3.2.2Berechnung der Grenzfrequenzen23 3.2.3Fourier-Filterung24 3.3Vergleich der Operatoren25 3.3.1Axiales Aufl sungsverm gen25 3.3.2Rechenzeit26 3.3.3Signal-Mittelwert-Verh ltnis27 3.3.4Bewertung28 4.Geometrische Absch tzung des Aufl sungsverm gens29 4.1Das Abbildungsmodell29 4.2Verschiebung der Fokusebene30 4.2.1Mikroskop31 4.2.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 3838619781
• ISBN13: 9783838619781
• Release Date: January 1996
• Publisher: Diplom.de
• Length: 98 Pages
• Weight: 0.30 lbs.
• Dimensions: 0.2" x 5.8" x 8.3"