In der vorliegenden Arbeit wurde der Betrieb dielektrisch behinderte Entladung bei hoher Leistungsdichte und hoher Effizienz untersucht. Hierbei wurde eine Abh?ngigkeit der homogenen Entladung von der Stromdichte festgestellt. Die n?tige Anregungsform wurde in einem resonanten Puls-Betriebsger?t verwirklicht, welches Wirkungsgrade bis 87 % erreicht. Durch goniometrische Strahlungsflussmessungen im UV wurden die erreichte Leistungsdichte und Plasma-Effizienz bestimmt.
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