Beiträge zum Verständnis des sauren nasschemischen Ätzens von Silicium [German]

by Marcus Lippold

Der Siliciumaufl seprozess in Flusss ure-Salpeters ure-Schwefels ure/Wasser-L sungen unterscheidet sich vom tzprozess in Flusss ure-Salpeters ure-Wasser-Standardmischungen in Bezug auf die Reaktivit t gegen ber Silicium, erzielte Oberfl chenmorpholgien sowie die beim tzen entstehenden gel sten und gasf rmigen Produkte. Die Behandlung von Siliciumwafern in Schwefels ure-reichen tzl sungen erzeugt Texturen mit hoher Rauigkeit und geringer Reflexion...

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 3838139623
• ISBN13: 9783838139623
• Release Date: November 2014
• Publisher: Sudwestdeutscher Verlag Fur Hochschulschrifte
• Length: 180 Pages
• Weight: 0.60 lbs.
• Dimensions: 0.4" x 6.0" x 9.0"