Технология МЭМС: Подход к изготовлению тонких электростатических линз: Ультраминиатюрная микроколонка с полевым эмиттером из 2D-углеродных нитей (мини-СЭМ)
By
No Customer Reviews
С момента открытия микроколонки Чангом в 1980 году, возник огромный интерес к миниатюрным микроколонкам из-за их различных применений, таких как прямая электронно-лучевая литография, недорогое устройство, низковольтная СЭМ и портативная СЭМ из-за их высокой пропускной способности. Компактный размер позволяет собирать микроколонки в массивную форму, что значительно улучшает производительность визуализации или пропускную способность литографии. Мы изготовили и исследовали три различные конструкции микроколонок, в каждой из которых использовалась модифицированная исходная линза, различное рабочее расстояние, объектив и без объектива. Качество изображения и ток зонда всех новых изготовленных микроколонок были исследованы. Электростатические линзы были изготовлены методом МЭМС. В качестве источника излучения для этих колонок использовался полевой эмиттер 2D-CNT. Наши результаты показали, что среди всех трех структур микроколонок ультраминиатюризированная микроколонка по
ThriftBooks sells millions of used books at the lowest everyday prices. We personally assess every book's quality and offer rare, out-of-print treasures. We deliver the joy of reading in recyclable packaging with free standard shipping on US orders over $15. ThriftBooks.com. Read more. Spend less.