Skip to content
Scan a barcode
Scan
Paperback Технология МЭМС: Подход &#1082 [Russian] Book

ISBN: 6204156691

ISBN13: 9786204156699

Технология МЭМС: Подход к изготовлению тонких электростатических линз: Ультраминиатюрная микроколонка с полевым эмиттером из 2D-углеродных нитей (мини-СЭМ)

С момента открытия микроколонки Чангом в 1980 году, возник огромный интерес к миниатюрным микроколонкам из-за их различных применений, таких как прямая электронно-лучевая литография, недорогое устройство, низковольтная СЭМ и портативная СЭМ из-за их высокой пропускной способности. Компактный размер позволяет собирать микроколонки в массивную форму, что значительно улучшает производительность визуализации или пропускную способность литографии. Мы изготовили и исследовали три различные конструкции микроколонок, в каждой из которых использовалась модифицированная исходная линза, различное рабочее расстояние, объектив и без объектива. Качество изображения и ток зонда всех новых изготовленных микроколонок были исследованы. Электростатические линзы были изготовлены методом МЭМС. В качестве источника излучения для этих колонок использовался полевой эмиттер 2D-CNT. Наши результаты показали, что среди всех трех структур микроколонок ультраминиатюризированная микроколонка по

Recommended

Format: Paperback

Temporarily Unavailable

We receive fewer than 1 copy every 6 months.

Customer Reviews

0 rating
Copyright © 2025 Thriftbooks.com Terms of Use | Privacy Policy | Do Not Sell/Share My Personal Information | Cookie Policy | Cookie Preferences | Accessibility Statement
ThriftBooks ® and the ThriftBooks ® logo are registered trademarks of Thrift Books Global, LLC
GoDaddy Verified and Secured